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宇部マテ、研磨水処理材を開発−半導体向け純水コストを低減

出典: 日刊工業新聞 - ノリタケカンパニーリミテド、KNプラッツ(大阪府柏原市)と共同で半導体製造工程の研磨水をリサイクル処理できる「高強度モスハイジ成形品」を開発、国内半導体メーカーに納入したと発表した。半導体の微細化が進む中、従来の排水処理装置では困難な100マイクロメートル未満の超微粒子であるシリカを含む機械化学研磨(CMP)廃水を処理できる。廃水のリサイクルにより、純水費の削減が可能。KNプラッツが既存の廃水処理 >>>続きを読む

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